LPE

LPE PE 106 CVD

  • Размер обрабатываемых пластин: 3″, 4″, 6″
  • Индукционный нагрев
  • Трехзонная система впрыска газа
  • Блокировка загрузки для продувки инертным газом между запусками
далее


LPE PE 2061S CVD

  • Цилиндрический реактор для мощных МОП, БТИЗ, импульсных и специальных приборов
  • Проведения процесса как при атмосферном, так и при пониженном давлении
  • Прямоточное движение газа
  • Низкочастотный индуктивный нагрев (4 кГц)
    • далее


LPE PE 3061 CVD

  • Типичное применение: новое поколение дискретной технологии, мощные МОП, БТИЗ, тонкие пленки
  • Возможность толстопленочного осаждения
  • Для небольших партий с уменьшенной загрузкой пластин
  • Минимально возможная себестоимость для реакторов групповой обработки
  • Качество структур максимально приближено к качеству из реакторов обработки по одной пластине
далее