AP&S Chemical Mixing System (CMS), Slurry System (Mixing or Distribution System) — Установка приготовления и подачи химических смесей и суспензий

  • Установка автоматического приготовления и подачи химических смесей для полупроводникового производства, МЭМС, солнечных элементов
  • Преимущества: легкое послепродажное обслуживание ввиду модульной концепции; быстрая замена емкости благодаря дегазации с помощью линии рециркуляции; доступ для обслуживания посредством модема.
  • Бочки стандартно 200 л или 1000 л
  • Различная производительность насоса
  • Различные размеры присоединяемых трубопроводов
  • Наличие блока фильтрации
  • Роликовая система для установки бочек
  • Программное обеспечение с цветным сенсорным экраном, автоматическим управлением и активной схемой
  • Поддон для сбора
  • Автоматическое обнаружение пустой бочки
  • Автоматическое переключение на резервное электропитание
  • Подключение к вытяжной вентиляции
  • Встроенная система безопасности
  • Низкая стоимость владения
  • Опции: возможные размеры бочек: 2 х 60л, 2 х 100л, 2 х 200л, а также 2 х 500л или 2 х 1000л; резервный насос, резервный фильтр; пистолет-распылитель деионизованной воды, «азотная подушка», автоматический блок промывки, фильтровентиляционный блок, измерение концентрации

к списку