AP&S — LOTUS systems IPA Dispense Dry — Установка сушки пластин

  • Применение: для полупроводникового производства, МЭМС
  • Загрузка: 2 x 25 пластин 6”; 2 x 25 пластин 8”; 1 x 50 пластин 8”; 1 x 50 пластин 12”; жесткие диски 2,5″ и 3,5″; 1 x 25 пластин 6”, 1 x 25 пластин 8”.
  • Производительность: до 300 пл/ч.
  • Применение: сушка гидрофильных и гидрофобных пластин.
  • Опции: сверхкомпактная версия (550 мм шириной), комплект для модернизации (до 8″ — 12″).

к списку