ООО НПК «ТехМашСервис»

ИЗОПЛАЗ и аналоги

  • Установки химического осаждения из газовой фазы при низком давлении с плазменной активации для промышленного производства
  • Назначение:  для образования тонких пленок (в т.ч.  SiС, SiO2, Si3N4, ФСС и т.д.) методом химического осаждения из газовой фазы с плазменной активации (PECVD), а также для процессов отжига, восстановления, гидролиза и пр.
  • Режимы работы: автоматический и полуавтоматический
  • Подложки: пластины ø100 мм, ø150 мм
  • Автоматическая загрузка
  • Количество реакторов (труб) в установке: 1, 2, 3 или 4
  • Частота генератора: 440 кГц и 13,56 мГц
  • Длина рабочей зоны реактора: 1200 мм
  • Диапазон рабочих температур: (250÷500) °С
  • Способ нагрева: резистивный
  • Точность поддержания температуры во время рабочего процесса: ±3 °С
  • Время разогрева печи до максимальной рабочей температуры: ≤2 ч
  • Система управления на основе ПК
  • Электроэнергия: 380 В, 3 ф, 50/60 Гц
  • Габариты: в зависимости от конкретной комплектации — длина до 6000 мм, ширина (800÷900) мм, высота 2400 мм
  • Опционно: различные виды нагрева, выбор размера подложек, рабочего давления, плазмы, типов загрузочных камер и др.

ИЗОТРОН и аналоги

  • Установки химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении для промышленного производства
  • Назначение:  для образования тонких пленок (в т.ч.  Si, SiС, SiO2, Si3N4, ФСС, Ge, GaN и т.д.) методом химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении в реакционной камере (LPCVD), а также для процессов отжига, восстановления, гидролиза и пр.
  • Режимы работы: автоматический и полуавтоматический
  • Подложки: пластины ø76 мм, ø100 мм, ø150 мм
  • Количество реакторов (труб) в установке: 1, 2, 3 или 4
  • Длина рабочей зоны реактора: (600÷900) мм
  • Диапазон рабочих температур: (400÷900) °С
  • Способ нагрева: резистивный
  • Точность поддержания температуры во время рабочего процесса: ±(0,5÷1,5) °С
  • Время разогрева печи до максимальной рабочей температуры: ≤2 ч
  • Величина остаточного давления в реакторе: ≤1,3 Па
  • Величина рабочего давления: (5÷1500) Па
  • Скорость откачки: ≥50 л/с
  • Система управления на основе ПК
  • Электроэнергия: 380 В, 3 ф, 50/60 Гц
  • Габариты: в зависимости от конкретной комплектации — длина до 6180 мм, ширина (800÷900) мм, высота 2360 мм
  • Опционно: различные виды нагрева, выбор размера подложек, рабочего давления, типов загрузочных камер и др.