ООО «АтомСтрой»

Установка химического травления

  • Применение: для группового кассетного травления полупроводниковых пластин в объеме водных технологических растворах
  • Типы ванн: ванна ультразвуковой обработки (6л) – 1шт.; ванна травления (6,5л)  – 2 шт.; ванна финишной промывки  (6,5л)  – 2 шт
  • Параметры ванны ультразвуковой обработки из нержавеющей стали (295х140х150мм): потребляемая мощность – 450 Вт, мощность генератора – 150 Вт, мощность нагревателя – 300 Вт, рабочая частота – 35 кГц, амплитудная модуляция – до 90%
  • Размеры полипропиленовой ванны травления: 300х150х150 мм
  • Размеры полипропиленовой ванны финишной промывки: 300х150х150 мм
  • Ручное перемещение групповых кассет по рабочим позициям
  • Время непрерывной работы установки: ≥ 8 ч
  • Прозрачные защитные
  • Сжатый очищенный воздух
  • Деионизованная вода
  • Вытяжная вентиляция
  • Электроэнергия: 220 В, 1ф, 50 Гц, 2 кВт

УСТАНОВКА ХИМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ

  • Применение: для химического или гальванического осаждения металлов; предварительной подготовки пластин/подложек перед вакуумным напылением; травления резистивных слоев; обработки в органических растворителях; меднения, палладирования и др.
  • Комплектация установки: модуль предварительной подготовки, ванна постактивации, ванна проточной промывки, механизм подвижной штанги из титана для перемещения подвески, блок циркуляции и фильтрации растворов с помощью насоса фторопластового и катриджного фильтра тонкой очистки, пневмосистема подготовки сжатого воздуха
  • Типы ванн: ванна очистки; ванна активации; ванна постактивации; ванна промывки
  • Рабочий раствор в ванне очистки: CeraBond M Wetting
  • Рабочий раствор в ванне активации: CeraBond M Activator
  • Рабочий раствор в ванне постактивации: CeraBond M Reducer
  • Рабочая температура в ванне очистки: (40 ±3) °С
  • Рабочая температура в ванне активации: (35 ±5) °С
  • Рабочая температура в ванне постактивации: (70 ±3) °С
  • Рабочая температура в ваннах промывки №1, 2, 3: комнатная
  • Рабочая температура в ванне промывки №4: (50±5) °С
  • Сжатый воздух
  • Деионизованная вода
  • Вытяжная вентиляция
  • Электроэнергия