• Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке в промышленном производстве динамических ОЗУ, микропроцессорных модулей и флеш-ПЗУ
• Назначение: высокотемпературный отжиг, сверхвысокотемпературный отжиг (>1300°C) при производстве высококачественных кремниевых подложек для ликвидации линий скольжения в кристаллической структуре;
• Диапазон рабочих температур: (150÷1350)°C
• Система управления температурой, скоростью понижения / повышения температуры

далее

• Автоматическая высокопроизводительная установка термического осаждения
• Назначение: осаждение тонких пленок для 3D структур
• Высокоскоростное автоматизированное устройство загрузки

далее

• Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке
• Назначение: химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, отжиг; осаждение конформных пленок в глубоких траншеях (щелях)
• Пластины: ø300мм
• Функция проверки работоспособности — опционно

далее

• Автоматическая высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении) при групповой обработке в промышленном производстве
• Назначение: атомно-слоевое осаждение  TiN; осаждение SiO₂; осаждение  TaN
• Патронный нагревательный элемент
• Система управления температурой, высокая скорость понижения / повышения температуры

далее

• Автоматическая высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении) при групповой обработке в промышленном производстве
• Назначение: атомно-слоевое осаждение  TiN; осаждение SiO₂; осаждение  TaN
• Патронный нагревательный элемент
• Система управления температурой, высокая скорость понижения / повышения температуры

далее

• Автоматическая вертикальная диффузионная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении при групповой обработке в промышленном производстве
• Назначение: химическое осаждение из газовой фазы легированного поликремния при пониженном давлении
• Пластины: ø300мм (12”)
• Загрузка-разгрузка в FOUP-контейнерах через 2 порта

далее

• Автоматическая высокопроизводительная вертикальная диффузионная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении при групповой обработке в промышленном производстве
• Назначение: химическое осаждение из газовой фазы нитридов при пониженном давлении
• Патронный нагревательный элемент
• Система управления температурой с комплектом термопар

далее

• Автоматическая вертикальная печь для термических (пирогенных) процессов
• Кассетная загрузочная станция
• Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
• Пластины: ø150мм

далее

• Автоматическая вертикальная диффузионная печь для нитридирования / Pyro (HCl) процессов при групповой обработке
• Кассетная загрузка (пластиковые кассеты)
• Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
• Пластины: ø200мм

далее

• Автоматическая вертикальная диффузионная печь для группового химического осаждения нитридов из газовой фазы при пониженном давлении
• Загрузка: загрузочная станция для  SMIF-контейнеров
• Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
• Пластины: ø8″

далее

• Автоматическая вертикальная диффузионная печь
• Назначение: сухое / влажное оксидирование, NO (N2O)-отжиг, N2 (Ar, H2) — отжиг, PH3 -отжиг, диффузия, химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, осаждение легированного / нелегированного поликремния, осаждение легированного / нелегированного поли-кремния-германия, нитридирование, высокотемпературное оксидирование
• Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
• Пластины: ø8″

далее

• Автоматическая вертикальная атмосферная / с пониженным давленим диффузионная печь для групповой обработки
• Назначение: оксидирование (атмосферное давление), химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, высокотемпературное оксидирование при пониженном давлении (опция)
• Варианты загрузки: в SMIF-контейнерах; кассетная загрузка в ручном или автоматическом режиме
• Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин

далее

• Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке в промышленном производстве чипов, пластин, МЭМС, светодиодов, источников питания, фотоэлементов
• Назначение: химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, отжиг (высокотемпературный / низкотемпературный), диффузия, сухое / влажное оксидирование, осаждение легированного / нелегированного поликремния, нитридирование
• Пластины: ø150мм, ø200мм.
• Гибкие подложки: до ø150мм

далее