SVCS SVaFUR-RD LPCVD

  • Горизонтальные диффузионные печи для НИОКР и ОП
  • Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, пирогенное окисление, влажное окисление с использованием сверхчистого пара, сухое окисление, легирование из твердых, жидких и газообразных источников)
  • Рабочая зона до 300мм
  • Диапазон температур — до 1300°C
  • Количество зон: 3 или 5
  • До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
  • Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
  • Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
  • Размер подложки —  Ø 150мм, 200мм, 300мм

к списку