ООО «СИДМЭЛ»

СИДМЭЛ SAME200

  • Установка микроволнового плазмохимического травления для удаления пластиковых корпусов для НИОКР-лабораторий, опытных и мелкосерийных производств
  • Назначение: плазмохимическое травление диэлектриков (оксид кремния) и различных полимеров (резистов, полиимидов, эпоксидных смол) и т.д.
  • Размеры камеры: ø 200 × 120 мм
  • Максимальные размеры образца: ø160 × 80 мм
  • Область травления (по центру): 15 × 15 мм
  • Тип загрузки: открытая
  • Генератор возбуждения плазмы: (2,4÷2,5) ГГц, (0÷200) Вт
  • Скорость травления: от 10 мкм/мин
  • Применяемые газы: CF4, O2, Ar, N2– (1÷2) бар, (0÷200) мл/мин
  • Сжатый воздух: 8 бар, 50 л/мин
  • Управление персональным компьютером с сенсорным дисплеем
  • Контроль рецептов в процессе работы;
  • Запись параметров процессов.
  • Водяное охлаждение с рециркуляционной охладительной системой
  • Вакуумный насос
  • Электропитание: 220 В, 1ф, 50/60 Гц, 6 А
  • Габариты основного блока: 1400 × 580 × 580 мм
  • Занимаемая площадь: < 1 м2