Oxford Instruments Ionfab300Plus (IBE/IBD)

• Модульная установка ионно-лучевого травления и осаждения в микроэлектронике и оптике для НИОКР и серийного производства
• Назначение: травление металлов CdHgTe (CMT), Ni, NiCr, Cu, Al, Au, Ag, Pt, Pd; травление оксидов и нитридов SiO₂, Si₃N₄, LiNbO₃ и т.д.; травление соединений А₃В₅ для фотоэлектроники; осаждение и травление VOx; осаждение многослойных слоев HfO₂/SiO₂; изготовление ИК-детекторов, дифракционных решеток, головок для тонкопленочных магнитных жестких дисков (TFMH), телекоммуникационных фильтров, электронных схем с использованием поляризованных по спину электронов и  магниторезистивной памяти с произвольным доступом (MRAM); нанесение просветляющих (антиотражающих) и антибликовых  покрытий для лазерных стержней и прочего.
• Варианты исполнения: обособленные модули или в кластерной конфигурации
• Загрузка-выгрузка подложек: ручная шлюзовая или кассетная автоматическая
• Подложки: до ø100мм (SC версия); до ø200 мм (LC версия)
• Применяемые технологии: ионно-лучевое травление/распыление (IBE/IBM); реактивное ионно-лучевое травление (RIBE); химически-стимулированное ионно-лучевое травление (CAIBE); ионно-лучевое напыление (IBSD); ионно-стимулированное напыление (IASD); реактивное ионно-лучевое осаждение (RIBD)
• Угол наклона подложки к оси: от -90° по горизонтали до +65°/75° вниз (в зависимости от конфигурации)
• Скорость вращения подложки: до 20 об/мин
• Температура подложкодержателя: (10÷300)°С; наличие системы нагрева и охлаждения (возможность охлаждения обратной стороны пластины He (турбонасос) или Ar (крионасос))
• Ионный источник для травления, очистки: ВЧ (13,56 МГц) ø150 мм (SC версия); ВЧ ø350 мм (LC версия)
• Ионный источник для распыления мишени (для осаждения): ВЧ ø150 мм
• Размер и количество мишеней (для осаждения):  до 4-х ø200 мм
• Возможность очистки (травления) боковых стенок
• Линии подачи газа с РРГ: до 8
• Применяемые газы: SF₆, CHF₃, CF₄, BCl₃, Cl₂, SiCl₄,  O₂, Ar, Kr, Xe, He, N₂, очищенный сжатый воздух и прочие
• Вакуумная система с турбомолекулярным или криогенным и форвакуумными насосами (вариант зависит от конфигурации установки)
• Компьютерная система управления PC3000
• Измеритель скорости осаждения на базе кварцевого кристалла
• Опционно: анализатор остаточной атмосферы (RGA), масс-спектрометр вторичных ионов (SIMS), спектроскопический оптический монитор (WLOM)   

к списку