PVA TEPLA CGS-Lab

  • Установки данного типа используются преимущественно в лабораторных исследованиях. С их помощью можно выращивать монокристаллы малого формата и другие материалы по методу Чохральского. Эти установки также позволяют быстро и экономично проверять материалы (например, поликристаллический кремний) на предмет соответствия стандартным требованиям.
  • Кристалл: диаметр до 100 мм, длина до 300 мм
  • Диаметр тигля до 254 мм
  • Котёл: диаметр 590 мм, высота 1000 мм
  • Загрузка: 5 кг поликремния.
  • Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц
  • Источник питания, мощность: максимум 50 кВА
  • Технологический газ: максимум 100 литров / мин
  • Сжатый воздух: 4 – 6 Бар
  • Расход воды: максимум 120 литров / мин
  • Давление воды: максимум 4,5 Бар
  • Опция: Система фильтрации SiO, блок вакуумных насосов
  • Габариты: высота (вал) 3400 мм, ширина 4500 мм, глубина 2100 мм
  • Зазор высоты: 2500 мм
  • Вес: со съемником вала 2500 кг, дополнительно силовые шкафы и шкаф управления

к списку