Applied Materials AMAT Endura 5500 PVD 150/200mm

• Автоматическая многокамерная установка физического осаждения из газовой фазы с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
• Назначение: физическое осаждение из газовой фазы алюминия (Al), титана (Ti), нитрида титана (TiN), титана/нитрида титана (Ti/TiN), алюминия-кремния-меди (AlSiCu), алюминия/титана (Al/Ti), тантала (Ta), алюминия-меди (AlCu), меди (Cu) и прочих
• Кассетная загрузка / загрузка в SMIF-контейнерах
• 2 кассетные загрузочные камеры
• 1 буферная камера
• 1 (2) камера дегазации / ориентирования пластин
• 1 (2) камеры предварительной очистки
• 1 камера перемещения
• До 4-х камер сверхвысоковакуумных камер физического осаждения из газовой фазы
• До 2-х камер высоковакуумных процессных камер
• 2 камеры охлаждения (внешняя и внутренняя)
• 2 роботизированных 2-координатных устройства перемещения пластин (буферная камера и камера перемещения)
• Пластины: ø150мм, ø200мм
• Подложкодержатель с  нагревателем, электростатическим прижимом и водяным / гелиевым охлаждением
• Генераторы постоянного тока — источники питания магнетронов: Advanced Energy MDX-L6 / MDX-L12 / MDX-L12M / MDX-10K / MDX-20K / MDX-650 HiZ
• ВЧ генераторы: COMDEL CX-600S / CPS1001S (0÷1000)Вт, 13,56 MГц; RFPP LF10A RF (0÷1000)Вт, 400 KГц; Vectra IMP 010CAP 2 MГц; Advanced Energy HFV8000
• Газовая система: до 20 газовых линий с РРГ
• Применяемые газы: Ar (до 2,1 бар), N₂ (до 7 бар), 5%H₂/He, He и прочие;расход газов – до 30 л/мин
• Система управления: компьютерная; система управления температурой
• Криокомпрессор 9600 Compressor водоохлаждаемый, нагреватель, чиллер Neslab 2600
• Вакуумная система: криогенный насос (камера перемещения – 10^-8 торр, буферная камера — 10^-6 торр,  процессные камеры — 10^-9 торр), турбомолекулярный насос с роторно-лопастным насосом (камера предварительной очистки — 10^-7 торр), блок роторно-лопастный насос / вакуумный насос Рутса (Alkatel A100L воодоохлаждаемый) (загрузочные камеры — 10^-5 торр) и централизованная вакуумная система
• Вытяжная вентиляция от основного модуля, генератора, вакуумной системы
• Очищенный сухой сжатый воздух: до 5,5 бар
• Оборотная охлаждающая вода: до 7 бар
• Электроэнергия: 200/208/380/400/415/440/480В, 250/343/400/502А, 3ф, 50/60Гц
• Габариты: основной модуль — (2921×2464х2500) мм (без вакуумных насосов, криокомпрессора, чиллера и т.д.)
• Вес: основной модуль – 3400 кг

к списку