Ultratech AP200, Ultratech AP300

  • Степперы для бампинг-фотолитографии
  • Используется бесконтактная 1X проекционная технология
  • Возможность широкополосного облучения дает возможность экспозиции резистов i-, gh- и ghi- линиями спектра
  • Автоматически перестраиваемый держатель для пластин 150 и 200 мм (AP200) или 200 и 300 мм (AP300)

к списку