Kokusai Electric Vertron III

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь
  • Назначение: сухое / влажное оксидирование, NO (N2O)-отжиг, N2 (Ar, H2) — отжиг, PH3 -отжиг, диффузия, химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, осаждение легированного / нелегированного поликремния, осаждение легированного / нелегированного поли-кремния-германия, нитридирование, высокотемпературное оксидирование
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø8″
  • Количество одновременно обрабатываемых пластин: 5 шт
  • Применяемые химикаты: ТЭОС и прочие

к списку