Kokusai Electric

Технологическое оборудование:

  • Термические процессы
  • Химическое осаждение из газовой фазы
  • Оксидирование, нитридирование
  • Озоление

Kokusai Electric TSURUGI-C²

  • Автоматическая высокопроизводительная установка термического осаждения
  • Назначение: осаждение тонких пленок для 3D структур
  • Высокоскоростное автоматизированное устройство загрузки

Kokusai Electric Advanced Ace-300

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, отжиг; осаждение конформных пленок в глубоких траншеях (щелях)
  • Пластины: ø300мм
  • Функция проверки работоспособности – опционно

Kokusai Electric QUIXACE (QUIXACE-L/L) DD-1206V-DF 300 mm

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке в промышленном производстве динамических ОЗУ, микропроцессорных модулей и флеш-ПЗУ
  • Назначение: высокотемпературный отжиг, сверхвысокотемпературный отжиг (>1300°C) при производстве высококачественных кремниевых подложек для ликвидации линий скольжения в кристаллической структуре;
  • Диапазон рабочих температур: (150÷1350)°C
  • Система управления температурой, скоростью понижения / повышения температуры

далее


Kokusai Electric QUIXACE DJ-1206VN-DF (Aldinna)

  • Автоматическая высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении) при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: атомно-слоевое осаждение  TiN; осаждение SiO2; осаждение  TaN
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой, высокая скорость понижения / повышения температуры

далее


Kokusai Electric QUIXACE II ALD High-k 300 mm (ALD)

  • Автоматическая высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении) при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: атомно-слоевое осаждение  TiN; осаждение SiO2; осаждение  TaN
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой, высокая скорость понижения / повышения температуры

далее


Kokusai Electric Quixace II DJ-1206VN-DF Doped Poly 300 mm

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы легированного поликремния при пониженном давлении
  • Пластины: ø300мм (12”)
  • Загрузка-разгрузка в FOUP-контейнерах через 2 порта

далее


Kokusai Electric Quixace II DD-1206V-DF NITRIDE 300 mm

  • Автоматическая высокопроизводительная вертикальная диффузионная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы нитридов при пониженном давлении
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой с комплектом термопар

далее


Kokusai Electric DD-803V

  • Автоматическая вертикальная печь для термических (пирогенных) процессов
  • Кассетная загрузочная станция
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø150мм

далее


Kokusai Electric Vertron DJ-803V

  • Автоматическая вертикальная диффузионная печь для нитридирования / Pyro (HCl) процессов при групповой обработке
  • Кассетная загрузка (пластиковые кассеты)
  • Роботизированное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø200мм

далее


Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.