T-Clean Установки для химического травления и отмывки пластин

  • Установки для химического травления и отмывки пластин для производственных процессов и научных исследований в полупроводниковой промышленности, фотовольтаике, оптике, МЭМС,…
  • Зона загрузки, ванны для травления, ванны для отмывки: с подогревом, с распылителем для промывки, с растворами, ванна финишной отмывки, зона выгрузки
  • Автоматизация технологического процесса, широкий выбор настроек
  • Интуитивный графический интерфейс, облегчающий процесс создания новых рецептов, их адаптирования и хранения для будущего использования.
  • Возможность полной настройки параметров техпроцесса, от температуры ванны и объема химраствора до длительности погружения пластин.
  • Возможность контроля техпроцесса в режиме реального времени, а также удаленно с помощью возможности подключения к сети.
  • Хранение большого массива технических данных, собираемых с целью оптимизации техпроцесса
  • Автоматическая заправка и дозирование растворов, смешивание растворов, контроль уровня жидкости, рабочей температуры, слива
  • Емкости с химическими растворами от 20 до 200 литров
  • Возможность роботизации процесса
  • Ручной душ, местный отсос, отсасывающий аппарат
  • Заказное изготовление по ТЗ Заказчика

к списку