THERMCO SYSTEM

T-Clean Установки для химического травления и отмывки пластин

  • Установки для химического травления и отмывки пластин для производственных процессов и научных исследований в полупроводниковой промышленности, фотовольтаике, оптике, МЭМС,…
  • Зона загрузки, ванны для травления, ванны для отмывки: с подогревом, с распылителем для промывки, с растворами, ванна финишной отмывки, зона выгрузки
  • Автоматизация технологического процесса, широкий выбор настроек
  • Интуитивный графический интерфейс, облегчающий процесс создания новых рецептов, их адаптирования и хранения для будущего использования.

далее


TERMCO SYSTEMS – Установки химического осаждения металлов

  • Для производственных процессов и научных исследований в полупроводниковой промышленности, фотовольтаике, оптике, MEMS,…
  • Полностью автоматизированные установки для химического осаждения меди и никеля или золота и палладия
  • Обеспечение сотрудникам безопасных условий эксплуатации установок, исключение контактов с любыми химическими веществами и опасными металлами. Наличие системы блокировки
  • Роботизация техпроцесса для максимальной безопасности и исключения ошибок операторов

далее


TERMCO SYSTEMS – Установка для травления кремниевых труб

  • Оборудование предназначено для мойки и чистки кремниевых труб и других деталей в полупроводниковой промышленности.
  • Обеспечивает травление труб диаметром до 300 мм и длиной до 2500 мм.
  • Манипулятор установит трубку на вращающиеся цилиндры, в последующем система в зависимости от выбранной рецептуры наполнит ванну химической смесью или инжектирует смесь вовнутрь трубы.
  • После завершения очистки труба промывается в текущей деионизованной воде и в последующем просушивается горячим азотом.

далее


TERMCO SYSTEMS – Установки формирования пористого кремния путем электрохимического анодирования монокристаллического кремния

  • Пористый кремний (ПК) для полупроводниковой промышленности, МЭМС, фотоэлектрических преобразователей, медицинских приложений
  • ПК используется в качестве формообразующей подложки для получения наноразмерных объектов с заданными структурными параметрами.
  • Развитая поверхность ПК обеспечивает улучшение адгезии осаждаемых на них пленок металлов
  • Формирование ПК путем электрохимического анодирования монокристаллического кремния, с созданием тонких оксидных пленок с порами на поверхности

далее


TERMCO SYSTEMS – Шкафы закачки для хранения, смешения, подачи химикатов

Характеристика:

  • Хранение и подача химикатов
  • Смешивание химических растворов и их дозирование
  • Информация о состоянии емкости пустая/полная
  • Возможность прокачки системы

далее


TERMCO SYSTEMS – Химические шкафы для подачи химикатов

  • Шкаф для автоматизированного удаленного дистанционного снабжения химикатами в полупроводниковой промышленности и фотовольтаике
  • Автоматическое переключение насоса из первой бочки от 20 до 200 литров на вторую после исчерпания первой
  • Возможна система управления с тачскрином и возможностью отправления GSM сообщений о текущем рабочем режиме
  • Система местного отсоса

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.