Thermco ANNEAL

Отжиг с использованием водорода является стандартным процессом в полупроводниковой промышленности, который был также используется в других производственных процессах. Thermco Systems предлагает специальное оборудование для этого процесса учитывающее требования по безопасности, связанные с выводом H2 из печи:

  • При соотношениях 5% или менее H2 в инертном газе, таком как азот или аргон, нет риска взрыва
  • Для соотношений 5 — 20% Thermco обеспечивает специальную низкопотоковую систему сжигания водорода
  • Для соотношений> 20% Thermco предлагает высокопотоковую систему для выжигания водорода

к списку