Thermco Systems

Технологическое оборудование:

Отжиг, окисление, диффузия, LPCVD

Thermco VTR 6000 / 7000 LPCVD

  • Thermco Systems производит полное восстановление и модернизацию высокопроизводительных вертикальных печей компании TEL.
  • Производится замена вышедших из строя или устаревших частей
  • Производится замена кварцевой оснастки
  • Проводится модернизация системы управления, замена контроллера и управляющего ПО

далее


Thermco серия 2000 LPCV

  • Горизонтальные печи для R&D и мелкосерийного производства
  • Рабочая зона до 300мм
  • Обработка до 50 пластин единовременно
  • Размер подложки –  Ø 150мм, 200мм, 300мм

далее


Thermco серия 5000 LPCVD

  • Горизонтальные печи для работы с 150мм пластинами, либо пластинами 125 х 125мм
  • Рабочая зона 28-30” или 38-40”
  • Обработка до 50 пластин единовременно
  • Размер подложки –  Ø 150мм, 200мм, 300мм

далее


Thermco серия 8000 LPCVD

  • Максимальная высота 3,1 метра для возможности установки в производственные помещения с ограниченной высотой
  • Горизонтальные печи для работы с 200мм пластинами, либо пластинами 156 х 156мм
  • Максимальная температура – 1250 градусов цельсия
  • Обработка до 50 пластин единовременно

далее


Thermco ANNEAL

Отжиг с использованием водорода является стандартным процессом в полупроводниковой промышленности, который был также используется в других производственных процессах. Thermco Systems предлагает специальное оборудование для этого процесса учитывающее требования по безопасности, связанные с выводом H2 из печи:

  • При соотношениях 5% или менее H2 в инертном газе, таком как азот или аргон, нет риска взрыва
  • Для соотношений 5 – 20% Thermco обеспечивает специальную низкопотоковую систему сжигания водорода
  • Для соотношений> 20% Thermco предлагает высокопотоковую систему для выжигания водорода

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.