Thermco Systems

Thermco x10 benchtop series (R&D)

  • Печь однотрубчатая для научных исследований
  • Все основные атмосферные и CVD процессы
  • Рабочая зона реактора 10-12” с загрузкой до 50 пластин.
  • Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С

далее


Thermco x60 compact series (R&D)

  • Печь однотрубчатая для научных исследований и опытного производства
  • Все основные атмосферные и CVD процессы
  • Рабочая зона реактора 10-12” с загрузкой до 50 пластин.
  • Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С

далее


Thermco серия 2000 LPCV

  • Горизонтальная печь для мелкосерийного производства
  • Количество рабочих труб: от двух до четырех
  • Рабочая зона реактора: до 300 мм
  • Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С

далее


Thermco серия 5000 LPCVD

  • Горизонтальная печь для серийного производства со специально сконструированным загрузчиком для работы с 150 мм пластинами, пластинами 125 х 125 мм
  • Количество рабочих труб: до четырех
  • Рабочая зона реактора 28-30” или 38-40”
  • Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С

далее


Thermco VTR 6000 / 7000 LPCVD

  • Вертикальные печи низкого давления
  • Thermco VTR 6000, для работы с пластинами 150мм
  • Thermco VTR 7000, для работы с пластинами 200мм
  • Технологические платформы: VTP 1500 / TVP 1500X

далее


Thermco серия 8000 LPCVD

  • Максимальная высота 3,1 метра для возможности установки в производственные помещения с ограниченной высотой
  • Горизонтальные печи для работы с 200мм пластинами, либо пластинами 156 х 156мм
  • Максимальная температура – 1250 градусов цельсия
  • Обработка до 50 пластин единовременно

далее


Thermco ANNEAL

Отжиг с использованием водорода является стандартным процессом в полупроводниковой промышленности, который был также используется в других производственных процессах. Thermco Systems предлагает специальное оборудование для этого процесса учитывающее требования по безопасности, связанные с выводом H2 из печи:

  • При соотношениях 5% или менее H2 в инертном газе, таком как азот или аргон, нет риска взрыва
  • Для соотношений 5 – 20% Thermco обеспечивает специальную низкопотоковую систему сжигания водорода
  • Для соотношений> 20% Thermco предлагает высокопотоковую систему для выжигания водорода

далее


Thermco Refurbished TEL LPCVD

  • Thermco Systems производит полное восстановление и модернизацию высокопроизводительных вертикальных печей компании TEL: TEL Thermco HTR, TEL Horizontal, TEL VCF / VDF, Alpha 8S, Alpha 8SE, SC300, Formula
  • Производится замена вышедших из строя или устаревших частей
  • Производится замена кварцевой оснастки
  • Проводится модернизация системы управления, замена контроллера и управляющего ПО

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.