Ultratech NanoTech 160

  • Степпер для двухстороннего малоразмерного совмещения
  • Установка проекционной литографии для полупроводников, тонкопленочных технологий и МНЭМС
  • Применяется технология визуального контроля
  • Роботизированное устройство перемещения пластин толщиной до 1,2 мм
  • Бесконтактная литография

к списку