Plasma-Therm QuaZar (Pinnacle) Systems (IBE/IBD)

  • Установки ионнолучевого травления и осаждения
  • Назначение: осуществление процессов прецезионного осаждения и травления слоев матераилов при изготовлении современной магниторезистивной памяти с произвольным доступом
  • Варианты конфигураций: однокамерные модули с реакторами ионнолучевого травления или осаждения; кластеры, объединяющие в своем составе от одного до трех модулей травления, осаждения или комбинации модулей травления и осаждения
  • Загрузка: кассетная
  • Высокая производительность за счет ионных источников большой площади и усовершенствованной системы перемещения
  • Квалифицированы для применения в 200-мм производстве. Предназначена для обработки 200-мм пластин, 150-мм пластин и 9,5” ячеек, может модифицироваться для обработки 300-мм пластин
  • Карусельное устройство позволяет закрепить до 6 мишеней
  • Скорость срабатывания затвора: 0,7 секунды
  • Высокопроизводительная вакуумная система

к списку

Scroll Up