PVA TEPLA EKZ 2700

  • В установках испытанные механические и электрические элементы сочетаются с инновационными компонентами для управления и регулирования процессов. Они превосходно зарекомендовали себя в серийном производстве кристаллов кремния диаметром 205 мм (8 дюймов). Размеры котла позволяют устанавливать 22-дюймовый нагреватель.
  • Кристалл: диаметр до 230 мм, длина до 2500 мм
  • Диаметр тигля до 558,8 мм, высота до 390 мм
  • Котёл: диаметр 884 мм, высота 1450 мм
  • Загрузка: 150 кг поликремния. Начальная нагрузка: максимально 120 кг
  • Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц
  • Источник питания, мощность: максимум 220 кВА
  • Технологический газ: максимум 100 литров / мин
  • Сжатый воздух: 5 – 8 Бар
  • Расход воды: максимум 180 литров / мин
  • Давление воды: максимум 4 Бар
  • Опция: Система фильтрации SiO, блок вакуумных насосов
  • Габариты: высота (вал) 9200 мм, ширина 3600 мм, глубина 4500 мм
  • Зазор высоты: 2500 мм
  • Вес: со съемником вала 8800 кг, силовые шкафы 1600 кг, шкаф управления 360 кг

к списку