PVA TEPLA FZ 30

  • Установка FZ-30 разработана специально для выращивания крупных слитков монокристаллического кремния диаметром 200 мм и длинной 2000 мм. Центр тяжести установки совпадает с зоной расплава. Эффективная система поддержки обеспечивает самовыстраивание и защиту от внешних вибраций. Основная камера оснащена рядом портов для специальных приложений и оборудования.
  • Кристалл: диаметр: до 200 мм, длина до 2000 мм
  • Скорость вытягивания от 0 до 30 мм / мин
  • Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц
  • Технологический газ аргон: максимум 20 литров / мин, давление 5 – 12 Бар
  • Сжатый воздух: 4 – 6 Бар
  • Расход воды: максимум 100 литров / мин
  • Давление воды: 4 — 6 Бар
  • Габариты:
  • Зазор высоты: 2500 мм
  • Вес: 14000 кг, включая съемник вала, силовые шкафы и шкаф управления

к списку