Veeco GENxplor MBE

  • Установка молекулярно-лучевой эпитаксии для НИОКР в области смешанных полупроводников и других перспективных материалов
  • Объем загрузки пластин: до 1×3″
  • Тип загрузки образцов: ручной
  • Оптимальная цена, малые габариты, легкость в использовании и обслуживании.
  • Оптимальная компановка электронного и вакуумного оборудования экономит рабочее пространство лаборатории и значительно сокращает время запуска установки в эксплуатацию.
  • Установка GENXplor разработана на основе модели GEN10 с сохранением геометрии ростовой камеры и механизма перемещения подложек
  • Программное обеспечение автоматический контроль роста слоев и позволяет создавать рецепты и проводить полноценную запись данных процесса

к списку