Heidelberg VPG 1600

  • Крупногабаритный лазерный генератор изображений для производства фотошаблонов в больших объемах
  • Импульсный УФ-диодный лазер 355 нм, до 20 мВт
  • Максимальный размер подложки до 1600 х 1400 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 1,0 мкм
  • Размер адресной сетки уменьшен до 50 нм
  • Режимы многократного нанесения рисунка
  • Автоматическая система загрузки
  • Скорость экспонирования от 1300 до 17000 мм2/мин
  • Поддержка форматов DXF, CIF, GDSII, Gerber, STL
  • Встроенная прецизионная система поддержания микроклимата. Рекомендуемые параметры микроклимата для помещения 21 ± 1 ОС, класс чистоты ИСО 5.

к списку