Heidelberg Instruments Mikrotechnik

Heidelberg µPG 101 LDI

  • Настольный лазерный генератор изображений
  • Для НИОКР
  • Максимальный размер подложки до 100 х 100 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 1 мкм

далее


Heidelberg DWL 66FS LDI

  • Установка лазерной литографии для НИОКР
  • Максимальный размер подложки до 200 х 200 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 0,6 мкм
  • Размер адресной сетки уменьшен до 50 нм

далее


Heidelberg DWL 2000 LDI

  • Быстрая и гибкая установка лазерной литографии
  • Максимальный размер подложки до 200 х 200 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 0,6 мкм
  • Размер адресной сетки уменьшен до 10 нм

далее


Heidelberg DWL 4000 LDI

  • Лазерный генератор изображений для фотошаблонов c высокой разрешающей способностью
  • Максимальный размер подложки до 400 х 400 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 0,6 мкм
  • Размер адресной сетки уменьшен до 10 нм

далее


Heidelberg DWL 8000 LDI

  • Установка двумерной и трехмерной экспозиции с большой зоной 
  • Максимальный размер подложки до 800 х 800 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 0,7 мкм
  • Размер адресной сетки уменьшен до 20 нм

далее


Heidelberg VPG 1600 LDI

  • Для производства фотошаблонов в больших объемах
  • Максимальный размер подложки до 1600 х 1400 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 1,0 мкм
  • Размер адресной сетки уменьшен до 50 нм

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.