SVCS Process Innovation

Технологическое оборудование:

  • Отжиг, окисление, диффузия, LPCVD
  • Пирогенное окисление, влажное окисление с использованием сверхчистого пара, сухое окисление
  • Легирование из твердых, жидких и газообразных источников
  • Оксидирование, нитридирование, силицидирование

SVCS SVaFUR-FP LPCVD

  • Высокопроизводительные горизонтальные диффузионные печи
  • Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, пирогенное окисление, влажное окисление с использованием сверхчистого пара, сухое окисление, легирование из твердых, жидких и газообразных источников)
  • Рабочая зона до 1067мм
  • Диапазон температур – до 1300°C

далее


SVCS SVaFUR-RD LPCVD

  • Горизонтальные диффузионные печи для НИОКР и ОП
  • Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, пирогенное окисление, влажное окисление с использованием сверхчистого пара, сухое окисление, легирование из твердых, жидких и газообразных источников)
  • Рабочая зона до 300мм
  • Диапазон температур – до 1300°C

далее


SVCS SVсFUR-FP LPCVD

  • Высокопроизводительные горизонтальные LPCVD печи
  • LPCVD процессы: низкотемпературное оксидирование (LTO), высокотемпературное оксидирование (HTO), ТЭОС, нитрид кремния, поликремний, легированный поликремний, оксинитрид
  • Рабочая зона до 1067мм
  • Диапазон температур – до 1200°C

далее


SVCS SVсFUR-RD LPCVD

  • Горизонтальные LPCVD печи для НИОКР и ОП
  • LPCVD процессы: низкотемпературное оксидирование (LTO), высокотемпературное оксидирование (HTO), ТЭОС, нитрид кремния, поликремний, легированный поликремний, оксинитрид
  • Рабочая зона до 300мм
  • Диапазон температур – до 1200°C

далее


Технологическое оборудование:

  • PECVD
  • Нитрид кремния (включая антиотражающее SiN покрытие солнечных элементов)
  • Оксид кремния
  • Оксинитрид

SVCS SVpFUR-FP PECVD

  • Высокопроизводительные горизонтальные PECVD печи
  • Печь для БТП (Нитрид кремния (включая антиотражающее SiN покрытие солнечных элементов), Оксид кремния, Оксинитрид)
  • Рабочая зона до 1067мм
  • Диапазон температур – до 1200°C

далее


SVCS SVpFUR-RD PECVD

  • Горизонтальные PECVD печи для НИОКР и ОП
  • Печь для БТП Печь для БТП (Нитрид кремния (включая антиотражающее SiN покрытие солнечных элементов), Оксид кремния, Оксинитрид)
  • Рабочая зона до 300мм
  • Диапазон температур – до 1200°C

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.