LPE PE 2061S MOVPE

  • Цилиндрический реактор для мощных МОП, БТИЗ, импульсных и специальных приборов
  • Проведения процесса как при атмосферном, так и при пониженном давлении
  • Прямоточное движение газа
  • Низкочастотный индуктивный нагрев (4 кГц)
  • Класс чистоты 10 для зоны загрузки-разгрузки
  • Размер обрабатываемых пластин – 4″, 5″, 6″ и 8″
  • Уникальные характеристики для толстопленочной эпитаксии
  • Автоматическое управление эпитаксиальным процессом

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.