LPE PE 106 MOVPE

  • Размер обрабатываемых пластин: 3″, 4″, 6″
  • Индукционный нагрев
  • Трехзонная система впрыска газа
  • Блокировка загрузки для продувки инертным газом между запусками
  • Тонкие, толстые и супер толстые эпитаксиальные слои
  • Многослойные (p / n) в один прогон
  • Возможность снижения давления процесса
  • Темп роста: до 90 мкм/ч
  • Производительность для слоя std 6 мкм: 1000 пластин / месяц (пиковое значение)
  • Равномерность толщины (малая/средняя): 0.5% – 1.5%
  • Допинг-однородность (малая/средняя): 1.5% – 5%
  • Плотность дефекта: < 0,5 / см2
  • Установленная эл. мощность 60 кВт

 

 

 

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.