YES-ÉcoClean (ICP)

  • Компактная автоматическая установка травления нисходящей индуктивно-связанной плазмой и очистки поверхности для НИОКР и производства
  • Назначение: удаление фоторезиста , полиимида, органических загрязнений, оксида меди
  • Процессная камера: алюминиевая, (33,02х30,50х15,24) см, с водяным охлаждением
  • Пластины: (50÷ 200)мм (Si, GaAs, сапфир, керамика)
  • Автоматическая загрузка пластин одноманипуляторным загрузочным роботом. Различные концевые устройства захвата
  • Источник плазмы: ICP – 3000Вт, 3,45МГц, с системой автоматического согласования
  • Нагреваемый электрод-подложкодержатель  
  • Температура пластины: (50÷300)°С
  • Поднимающиеся штифты – процесс может проводиться как при поднятом, так и опущенном положении штифтов. Пластина может быть предподогрета на подложкодержателе, а затем приподнята для травления обратной стороны
  • Газовая система: до 3 газовых линий с РРГ (2 – стандартно, 1 – опционно)
  • Применяемые газы: O2, N2, форминг газ (опционно)
  • Система управления: компьютерная с сенсорным экраном; система контроля температуры
  • Электроэнергия: 208В, 30А, 3ф, 50/60Гц
  • Габариты: (508×1448х1702) мм
  • Дополнительное оборудование: водяной чиллер для охлаждения вакуумного насоса, процессной камеры и источника плазмы; газовая линия для форминг газа; вакуумный насос производительностью (340÷595) м3

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.