VTC-16-SM

  • Настольная установка магнетронного напыления постоянным током высокой мощности с водяным охлаждением 2“ оголовка мишени, водяным чилером и вращающимся держателем образцов
  • Назначение: магнетронное напыление металлических покрытий, включая Zn, Al, Ti и тонкие углеродные слои
  • Подложки: пластины диаметром до 4″
  • Подложкодержатель ø 4″ с регулируемой высотой от 60 до 100 мм между образцом и мишенью
  • Один вращающийся со скоростью от 0 до 5 об/мин 50-мм держатель из нержавеющей стали напыления с управляемым вручную затвором для защиты мишени
  • Напряжение на источнике постоянного тока системы напыления – 1600В; сила тока – до 150 мА; мощность – до 250 Вт; предусмотрена встроенная система защиты от превышения силы тока
  • Процессная камера из кварца размерами: ø 167 мм х 260 мм
  • Опционно: нагреватель подложкодержателя до температуры 500°С
  • 6″-цветный сенсорный экран с программируемым логическим контроллером для автоматического управления параметрами процесса: уровень вакуума, уровень тока напыления и т.д.
  • Установка укомплектована водяным воздухоохлаждаемым чилером производительностью 10 л/мин при максимальном давлении 1бар
  • Установка укомплектована специальным фланцем для присоединения вакуумного насоса
  • Опционно: двухступенчатый вакуумный центробежный лопастной насос производительностью 8/9,6 м3/ч (220В, 50/60Гц, 1ф, 0,4/0,37кВт), обеспечивающий вакуум менее 1 х 10-2 торр, при использовании мишеней Au, Ag, Pt, Cu, Mo (не чувствительных к воздуху); компактный турбовакуумный насос производительностью 0,9/1,0 м3/ч (220В, 50/60Гц, 1ф), обеспечивающий вакуум менее 1 х 10-5 торр, при использовании мишеней Al, Mg, Li, Ti, Zn (чувствительных к воздуху)
  • Игольчатый вентиль для корректировки расхода аргона (газовый баллон аргона с регулятором давления в поставку не входит)
  • Опционно: расходомер подачи газа и измеритель толщины пленки
  • Ручная загрузка-выгрузка подложек
  • Мишени: в состав установки входит 1 мишень из меди ø2″ х 2,5 мм. Опционно: мишени из Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg
  • Электропитание: 220В, 50/60Гц, 1ф
  • Габариты: 440 x 330 x 290 мм (без чилера), 45″ x 45″ x 40″ (общие, в упаковке)
  • Вес: 20 кг (без чилера), 72,6 кг (общий, в упаковке)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.