VTC-16-3HD-LD

  • Компактная установка магнетронного напыления постоянным током для нанесения покрытий металлов
  • Назначение: магнетронное напыление металлических покрытий (Au, Ag, Cu)
  • Напряжение на источнике постоянного тока системы напыления – 1600В; сила тока – до 40 мА
  • Процессная камера из сверхчистого кварца размерами: ø внутр.150 мм х 150мм, уплотняющий фланец из нержавеющей стали с плоским уплотнительным кольцом
  • Подложкодержатель ø 50 мм с регулируемой высотой от 25 до 40 мм между образцом и мишенью
  • Нагреватель подложкодержателя до температуры 500°С; PID-контроллер обеспечивает поддержание температуры с точностью ±1°С и отображением информации на сенсорном экране
  • Вращающийся держатель с 3-мя позициями, управляемый с сенсорного экрана
  • 6″ цветной сенсорный экран с программируемым логическим контроллером для автоматического управления параметрами процесса: уровень вакуума, позиция напыления, время напыления, уровень тока напыления, температура подложки
  • Сетчатый экран из нержавеющей стали для дополнительной защиты
  • Установка укомплектована цифровым вакуумметром и специальным фланцем для присоединения вакуумного насоса.
  • Опционно: двухступенчатый вакуумный центробежный лопастной насос производительностью 8/9,6 м3/ч (220В, 50/60Гц, 1ф, 0,4/0,37кВт) либо компактный турбовакуумный насос
  • Наличие соединения типа Swagelok ¼” для подключения инертного газа (аргона или азота) из баллона, вентиль на лицевой панели для корректировки расхода газа
  • Ручная загрузка-выгрузка подложек
  • Мишени: 1 мишень из золота ø47 мм х 0,12 мм; 1 мишень из серебра ø47 мм х 0,5 мм; 1 мишень из меди ø47 мм х 2,5 мм
  • Электропитание: 220В, 50/60Гц, 1ф, 700Вт (включая вакуумный насос)
  • Габариты: 440 x 330 x 455 мм
  • Вес: 50 кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.