AVS VISION 420 RIE

  • Установка реактивно-ионного бесщелочного (в основном соединениями фтора) травления широкого спектра материалов и подложек для НИОКР, прототипирования, пилотных линий  и мелкосерийного производства
  • Загрузка: 37х2”, 19х3”, 9х4”, 4х6”, ø16” – для образцов пользователя
  • Библиотека стандартных технологических процессов травления: диэлектриков (в т.ч. SiNx, SiO2, a-Si, SiOxNy, SiC, Ta2O5), полимеров (в т.ч. полиимид, фоторезист), подготовка поверхности ( изменение кислородом свойств поверхности структурированного сапфира), текстурирование поверхности твердотельных излучателей и солнечных элементов
  • 406-мм подложкодержатель, открытая загрузка для удобного доступа при индивидуальной и групповой обработке, цифровые регуляторы массового расхода газа – до 8 газовых каналов (4 – стандартно)
  • Температура термостабилизируемого подложкодержателя 20÷25°C
  • Источник емкостной плазмы 600Вт 13,56 МГц (опция – 1000Вт 13,56 МГц), небольшая занимаемая площадь (<1,0 м2), комплексное управление оконечными устройствами, протокол внештатных ситуаций, различные уровни доступа пользователей, управление процессом в реальном времени с визуальным отображением данных
  • Сухой форвакуумный насос 1600 л/мин (опционно – 1600 л/мин); турбомолекулярный насос 300 л/с
  • Электропитание: 380÷415В, 50Гц; 220÷230В, 50/60Гц
  • Габариты: 188,0х114,6х66,7см

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.