Thermco VTR 6000 / 7000 LPCVD

  • Вертикальные печи низкого давления
  • Thermco VTR 6000, для работы с пластинами 150мм
  • Thermco VTR 7000, для работы с пластинами 200мм
  • Технологические платформы: VTP 1500 / TVP 1500X
  • Технологические процессы: осаждение BPSG, осаждение поликремния, LPCVD SiN, LPCVD TEOS, Liquid deposition POCl3, окисление в атмосфере дихлорэтилена, N2 drive in diffusion, отжиг в атмосфере азота-водорода, Wet oxide with torch, Field oxide, сухое окисления кремния, сухое и мокрое окисление, и другие.
  • Количество реакторов: один / два
  • Рабочая зона нагрева реактора: 175 мм
  • Температурный диапазон: от 200 до 1150 °С, опционально до 1850 °С
  • Стабилизация температуры: от ± 0,5 °С
  • Скорость нагрева: до 75 °С/мин
  • Скорость охлаждения: до 50 °С/мин
  • При рабочей температуре  >1150°C до 1550°C рекомендуется использовать реактор из карбида кремния SiC, при температуре >1600°C до 1750°C из дисилицида молибдена MoSi2, при температуре >1750°C из графита
  • Обработка пластин на трубу: до 200 единовременно
  • Автоматическая загрузочная станция, кассеты / SMIF контейнер
  • Система управления VTR 7000XE построена на современных технологиях обработки
  • Аппаратное и программное обеспечение VTR 7000XE увеличивает срок службы оборудования, повышает функциональность и работоспособность печей
  • Автоматическое управление графическим интерфейсом VTR 7000XE расширяет возможности работы в процессе производства и обслуживания. Усовершенствованный контроллер подключен к системе управления через высокоскоростное соединение TCP / IP
  • Используется интерфейс ПК Thermco работающий с Windows
  • Расширенное управление рецептами, сбор данных и составление графиков
  • Функциональность SPC дает пользователю возможность контролировать производительность оборудования, увеличивает время безотказной работы, помогает настроить цикл обслуживания и улучшает согласованность производительности оборудования
  • Встроенный газовый шкаф
  • Количество газовых линий с автоматическим регулированием: до трех независимых газов диффузантов, коаксиальные газовые трубопроводы
  • Возможны различные конфигурации и опции для НИОКР или производства
  • Размеры 0,9 х 1,12 м, высота 2,75 м при загрузке до 150 пластин и 3,22 м при загрузке 200 пластин.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.