Thermco серия 8000 LPCVD

  • Горизонтальные печи для работы с 200мм пластинами, либо пластинами 156 х 156мм
  • Количество рабочих труб:  до четырех
  • Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С
  • Скорость нагрева: до 20 °С/мин
  • Скорость охлаждения: до 7 °С/сек
  • Стабилизация температуры: ± 0,25 °С
  • Обработка пластин: до 400 единовременно
  • Размер подложки:  Ø 150мм, 200мм, 300мм
  • Автоматическая загрузочная станция
  • Система управления PCMUX для выбора рецептов и контроля процессов, включает: модуль LSCS и программное обеспечение для интеграции в любую систему автоматизации фабрики
  • Встроенный газовый шкаф
  • Количество газовых линий с автоматическим регулированием: до восьми
  • Максимальная высота 3,1 метра
  • Возможны различные конфигурации и опции

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.