Thermco серия 5000 LPCVD

  • Горизонтальная печь для серийного производства со специально сконструированным загрузчиком для работы с 150 мм пластинами, пластинами 125 х 125 мм
  • Количество рабочих труб: до четырех
  • Рабочая зона реактора 28-30” или 38-40”
  • Температурный диапазон: от 200 до 1250 °С
  • Скорость нагрева: до 20 °С/мин
  • Скорость охлаждения: до 7 °С/сек
  • Стабилизация температуры: ± 0,25 °С
  • Обработка пластин: до 400 единовременно
  • Автоматическая загрузочная станция
  • Система управления PCMUX для выбора рецептов и контроля процессов
  • Встроенный газовый шкаф
  • Количество газовых линий с автоматическим регулированием: до восьми
  • Возможны различные конфигурации и опции
  • При рабочей температуре  >1150°C рекомендуется использовать трубы из карбида кремния

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.