TEMPRESS TS-Series R&D DIF/PECVD

  • Печи для НИОКР и ОП, процессы: POCl3, BBr3, отжиг/оксидирование, PECVD
  • Доступен новый продвинутый Ox-Poly процесс
  • Производительность от 25 до 1000 ячеек в час на реактор
  • Многозадачные атмосферные/CVD процессные камеры для различных типов кремниевых подложек
  • Модульный дизайн от одного до четырех реакторов в печи
  • Доступны как системы небольшого размера с ручной загрузкой, так и полностью автоматические системы

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.