TEMPRESS

Технологическое оборудование:

  • Диффузионное легирование (POCl3, HD-POCl3)
  • Отжиг, оксидирование
  • PECVD осаждение SiOx, SiNx

TEMPRESS QUANTUM HD-POCl3 DIF

  • 5 независимых реакторов
  •  3200 подложек в час
  • Предустановленные рецепты техпроцессов для до 140 Ω/sq с хорошей равномерностью удельного сопротивления по пластине
  • Интегрированное решение, полная автоматизация

далее


TEMPRESS TS-Series POCl3 DIF

  • 4независимых реакторов
  • 1600 подложек в час
  • Предустановленные техпроцессы
  • Полная автоматизация смены кассеты

далее


TEMPRESS QUANTUM POCl3, BBr3 DIF

  • Процессы легирования (POCl3, BBr3), отжиг и оксидирование в нормальной атмосфере
  • Полностью автоматизированная система
  • 5 независимых реакторов
  •  3200 подложек в час

далее


TEMPRESS TS-Series R&D DIF/PECVD

  • Печи для НИОКР и ОП, процессы: POCl3, BBr3, отжиг/оксидирование, PECVD
  • Доступен новый продвинутый Ox-Poly процесс
  • Производительность от 25 до 1000 ячеек в час на реактор
  • Многозадачные атмосферные/CVD процессные камеры для различных типов кремниевых подложек

далее


TEMPRESS SBVF

  •  Небольшая вертикальная печь с двухреакторной конфигурацией позволяет обрабатывать 200мм платины с роботизированной системой загрузки на одну пластину. Реализована возможность последовательной обработки в двух реакторах с автоматизированной передачей пластин из одного реактора в другой в инертной атмосфере.
  • Предустановленные техпроцессы
  • Двухреакторная система 400мм сечение реактора
  • Система загрузки поддерживает до 4ех кассет

далее


TEMPRESS TS6 & TS8 series SBFS

  • Вертикальные печи, предназначенные для НИОКР и ОП
  • От одного до 4 независимых реакторов
  • Сечение реактора от 300мм до 600мм
  • Температурный диапазон от 380 до 1350 0С

далее


TEMPRESS TS6 & TS8 series PFS

  • Вертикальные печи, предназначенные для массового производства
  • 4 независимых реакторов
  • Сечение реактора от 600мм до 1100мм
  • Температурный диапазон от 380 до 1350 0С

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.