TEMPRESS SBVF

  •  Небольшая вертикальная печь с двухреакторной конфигурацией позволяет обрабатывать 200мм платины с роботизированной системой загрузки на одну пластину. Реализована возможность последовательной обработки в двух реакторах с автоматизированной передачей пластин из одного реактора в другой в инертной атмосфере.
  • Предустановленные техпроцессы
  • Двухреакторная система 400мм сечение реактора
  • Система загрузки поддерживает до 4ех кассет
  • Создана для целей НИОКР и ОП

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.