TEMPRESS QUANTUM POCl3, BBr3 DIF

  • Процессы легирования (POCl3, BBr3), отжиг и оксидирование в нормальной атмосфере
  • Полностью автоматизированная система
  • 5 независимых реакторов
  •  3200 подложек в час
  • Предустановленные техпроцессы (в том числе легирование Бором, пассивация поверхности, пост имплантационный отжиг, PID, PERC)
  • Высота < 3,20 м
  • Низкая стоимость обслуживания благодаря надежному процессу и высокой энероэффективности
  • Максимальное время безотказной работы и низкая стоимость владения вместе с отличным сервисом и поддержкой обеспечивают долгосрочное успешное использование

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.