TEMPRESS QUANTUM HD-POCl3 DIF

  • 5 независимых реакторов
  •  3200 подложек в час
  • Предустановленные рецепты техпроцессов для до 140 Ω/sq с хорошей равномерностью удельного сопротивления по пластине
  • Интегрированное решение, полная автоматизация
  • Высота менее 3,20 м
  • Решение Plug and play, аналогичное промышленному стандарту атмосферного процесса POCl3
  • Низкая стоимость обслуживания благодаря надежному процессу
  • Максимальное время безотказной работы и низкая стоимость владения вместе с отличным сервисом и поддержкой обеспечивают долгосрочное успешное использование
  • Высокая пропускная способность
  • Надежный атмосферный процесс
  • На 10% меньше CoO, чем в низковакуумных системах

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.