TEL UNITY II (RIE)

  • Автоматическая многокамерная  установка реактивно-ионного травления с  шлюзовой загрузкой для производства
  • Назначение: травление оксидов, диэлектриков, поликремния
  • Процессные камеры: 2 (возможно 3)
  • Загрузка в открытых кассетах
  • Роботизированное устройство перемещения пластин
  • Несколько конфигураций процессных камер (PE, DRM, ATC, IEM, SCCM) для обеспечения различных видов обработки
  • Пластины: ø8”
  • Оптическая система ориентации пластин
  • Керамический электростатический подложкодержатель с гелиевым охлаждением
  • Источники плазмы: (0÷1000)Вт, 13,56МГц, с системой автоматического согласования
  • Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ на каждую процессную камеру
  • Применяемые газы: C3F8, C5F8, C4F8, C4F6, CF4, CHF3, CH3F, CH2F2, SF6, Cl2, CO, HBr, Ar, O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (3÷60) л/ч при  (0,7÷2) бар
  • Система управления: компьютерная с сенсорным экраном; система управления температурой
  • Температурный контроллер, чиллер
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Газовый скруббер, вытяжная вентиляция
  • Оборотная охлаждающая вода: (3÷5,2) бар
  • Азот: (2÷7,5) бар
  • Очищенный сжатый воздух: (6÷8) бар
  • Электроэнергия: 208В, 250А, 3ф, 50/60Гц
  • Габариты: установки – (3275×1960х2340) мм (без вакуумных насосов, чиллера, скруббера, контроллеров)
  • Вес: установки – 3700 кг (без вакуумных насосов, чиллера, скруббера, контроллеров)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.