TEL TELINDY PLUS™

TELINDY PLUS ™ представляет собой сочетание опыта и передовых технологий термической обработки. TELINDY PLUS ™ включает в себя специализированные функции, первоначально разработанные для коротких циклов в мелкосерийной системе TELFORMULA ™, а также проверенные на практике высокопроизводительные элементы дизайна на платформе TELINDY™ предыдущего поколения. Улучшенный доступ в зону технического обслуживания за счет оптимизации архитектуры системы позволяет сократить время простоя оборудования. Очистка камеры сухим газом и контроль среды зоны загрузки с низким содержанием кислорода позволяют добиться ощутимых преимуществ в контроле количества мелких частиц, способствуя увеличению эффективности. Высочайший уровень производительности был достигнут благодаря сочетанию объема загрузки – 125 пластин с прецизионным нагревателем TEL FTPS™, способным к быстрому нагреву и охлаждению в сочетании с опцией системы с двумя кассетами. Области применения TELINDY PLUS ™ варьируются от традиционных кремниевых технологий, таких как диффузионные процессы, оксидирование и отжиг, до LPCVD Si (Poly Si, a-Si), SiO2, Si3N4, и передовых ALD SiO2, Si3N4.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.