TEL

Технологическое оборудование:

Диффузионные печи, LPCVD,Окисление

TEL TELINDY PLUS™

TELINDY PLUS ™ представляет собой сочетание опыта и передовых технологий термической обработки. TELINDY PLUS ™ включает в себя специализированные функции, первоначально разработанные для коротких циклов в мелкосерийной системе TELFORMULA ™, а также проверенные на практике высокопроизводительные элементы дизайна на платформе TELINDY™ предыдущего поколения. Улучшенный доступ в зону технического обслуживания за счет оптимизации архитектуры системы позволяет сократить время простоя оборудования.

далее


TEL TELINDY PLUS™ IRad™

TELINDY PLUS ™ IRad ™ является комбинацией между крупносерийными системами термической обработки и плазменной обработки. TELINDY PLUS ™ IRad ™ сохраняет все конструктивные преимущества проверенной на практике, высоко-производительной и надежной платформы TELINDY PLUS ™, в то же время обеспечивая возможность безупречной работы в плазме.

далее


TEL TELFORMULA™

TELFORMULA ™ является самой передовой изотермической миниатюрной платформой в полупроводниковой промышленности. TELFORMULA ™ включает в себя ряд инновационных технологий, специально разработанных для удовлетворения потребности отрасли в 300-мм высокоскоростном серийном производстве. TELFORMULA ™ подходит также для R&D разработок.

далее


TEL ALPHA(α)-303i

ALPHA-303i – это 300-миллиметровая система термической обработки, оснащенная функциями, основанными на высоких технологиях ALPHA-8SE.

далее


TEL ALPHA-8S

ALPHA-8S – это система периодической термической обработки для кремниевых пластин длиной до 200 мм. Максимально увеличивая эффективность и производительность за счет постоянного совершенствования, в результате ALPHA-8S является новым стандартом на рынке вертикальных печей.

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.