TEL

Японская компания Tokyo Electron Limited разрабатывает и производит технологическое оборудование для полупроводниковой, радиоэлектронной и фотоэлектрической промышленности, включая:

  • Технологические решения для производства интегральных микросхем (IC), плоскопанельных дисплеев (FPD) и фотоэлектрических элементов (PV);
  • Вертикальные установки для атмосферных и вакуумных процессов диффузии, оксидирования и отжига, LPCVD, окисления ATM / LP, ALD;

Компания была основана как Tokyo Electron Laboratories Inc. в 1963 году. В том же году  открылся офис компании в США и началось производство диффузионных печей в дивизионе Thermco. Сегодня Thermco Systems является дивизионом английской компании Tetreon Technologies Ltd.

Технологическое оборудование:

Диффузионные печи, LPCVD,Окисление


TEL ALPHA-8S

  • Установка термической обработки для кремниевых пластин до 200 мм.
  • Максимально увеличивая эффективность и производительность за счет постоянного совершенствования, в результате ALPHA-8S является новым стандартом на рынке вертикальных печей.
  • Система обеспечивает широкий спектр технологических применений, таких как влажное / сухое окисление, отжиг, LPCVD из Si, Si3N4 и SiO2.
  • Доступны различные типы UGK (Up Grade Kit), которые включают контроллер графического интерфейса пользователя и другие опции для повышения его производительности и продления срока службы продукта.

далее


TEL ALPHA(α)-303i

  • Установка термической обработки для кремниевых пластин 300 мм.
  • оснащение функциями, основанными на высоких технологиях ALPHA-8SE.

далее


TEL TELINDY PLUS™

TELINDY PLUS ™ представляет собой сочетание опыта и передовых технологий термической обработки. TELINDY PLUS ™ включает в себя специализированные функции, первоначально разработанные для коротких циклов в мелкосерийной системе TELFORMULA ™, а также проверенные на практике высокопроизводительные элементы дизайна на платформе TELINDY™ предыдущего поколения. Улучшенный доступ в зону технического обслуживания за счет оптимизации архитектуры системы позволяет сократить время простоя оборудования.

далее


TEL TELINDY PLUS™ IRad™

TELINDY PLUS ™ IRad ™ является комбинацией между крупносерийными системами термической обработки и плазменной обработки. TELINDY PLUS ™ IRad ™ сохраняет все конструктивные преимущества проверенной на практике, высоко-производительной и надежной платформы TELINDY PLUS ™, в то же время обеспечивая возможность безупречной работы в плазме.

далее


TEL TELFORMULA™

TELFORMULA ™ является самой передовой изотермической миниатюрной платформой в полупроводниковой промышленности. TELFORMULA ™ включает в себя ряд инновационных технологий, специально разработанных для удовлетворения потребности отрасли в 300-мм высокоскоростном серийном производстве. TELFORMULA ™ подходит также для R&D разработок.

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.