SVCS SVpFUR-RD PECVD

  • Горизонтальные PECVD печи для НИОКР и ОП
  • Печь для БТП Печь для БТП (Нитрид кремния (включая антиотражающее SiN покрытие солнечных элементов), Оксид кремния, Оксинитрид)
  • Рабочая зона до 300мм
  • Диапазон температур – до 1200°C
  • Количество зон: 3 или 5
  • До 4 кварцевых реакторов для различных процессов
  • Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
  • Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
  • Размер подложки –  Ø 150мм, 200мм, 300мм

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.