SVCS SVaFUR-FP LPCVD

  • Высокопроизводительные горизонтальные диффузионные печи
  • Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, пирогенное окисление, влажное окисление с использованием сверхчистого пара, сухое окисление, легирование из твердых, жидких и газообразных источников)
  • Рабочая зона до 1067мм
  • Диапазон температур – до 1300°C
  • Количество зон: 3 или 5
  • До 4 кварцевых или карбидкремниевых реакторов для различных процессов
  • Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
  • Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
  • Размер подложки –  Ø 150мм, 200мм, 300мм

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.