STROZA – Шкаф для струйного травления краев кремниевых пластин

  • Оборудование предназначено для травления краев кремниевых пластин, с последующей мойкой и сушкой.
  • Травление и промывка проводятся форсунками с регулируемым положением и углом.
  • После вложения пластины и закрытия окна, пластина автоматически центрируется на рабочем столике и вакуумно прижимается.
  • Все процессы происходят автоматически по заранее составленным рецептурам.
  • Рецептура содержит время отдельных частей цикла, обороты столика и время его разгона и торможения.
  • PVDF резервуар смеси HF+HNO3  в задней части шкафа с датчиками контроля высоты уровня, заправка осуществляется вручную или автоматически смесью из центральной сети или шкафов распределения
  • PVDF резервуар в верхней части шкафа для травильной смеси, автоматически заправляемый насосом из нижнего резервуара. Резервуар самотеком снабжает травильные форсунки с помощью системы вентилей
  • Резервуар для ДИ-воды в верхней части с автоматической заправкой, контролем высоты уровня, нагревом с регулировкой температуры. Промывка теплой водой ускоряет осушение
  • Габариты: Ширина 1250мм х Глубина 1230мм х Высота 2000мм. Масса: 400кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.