STROZA

STROZA – Установка отмывки кремниевых пластин после полировки

  • Оборудование предназначено для автоматической мойки и сушки кремниевых пластин диаметром до 8″ после операции шлифования и полирования.
  • Оператор вставляет пластины в кассете в рабочую корзину в загрузочную позицию – входную двухпозиционную ванну с водой.
  • Двухосный манипулятор перегружает корзину по выбранной рецептуре (программе) между двумя ваннами очистки, двумя ваннами промывки и одной «ванной» для сушки.

далее


STROZA – Установка отмывки кремниевых пластин

  • Оборудование предназначено для работы в полупроводниковой промышленности.
  • Линия изготовлена полностью из нержавеющей стали и служит для постепенной очистки Si пластин диаметром 8″ в семи кассетах одновременно.
  • Пластины в стандартных пластмассовых кассетах, вручную вставленные в загрузочную позицию, проходят постепенно через пять ультразвуковых процессных и отмывочных ванн в «ванну» осушки и далее в позицию выгрузки.

далее


STROZA – Установка травления кремниевых труб

  • Оборудование предназначено для мойки и чистки Si труб и других деталей в полупроводниковой промышленности.
  • Обеспечивает травление труб диаметром до 300 мм и длиной с 1450 по 2765 мм.
  • Манипулятор установит трубку на вращающиеся цилиндры, в последующем система в зависимости от выбранной рецептуры наполнит ванну химической смесью или инжектирует смесь вовнутрь трубы.
  • После завершения очистки труба промывается в текущей деионизованной воде и в последующем просушивается горячим азотом.

далее


STROZA – Шкаф для струйного травления краев кремниевых пластин

  • Оборудование предназначено для травления краев кремниевых пластин, с последующей мойкой и сушкой.
  • Травление и промывка проводятся форсунками с регулируемым положением и углом.
  • После вложения пластины и закрытия окна, пластина автоматически центрируется на рабочем столике и вакуумно прижимается.
  • Все процессы происходят автоматически по заранее составленным рецептурам.

далее


STROZA – Шкаф подачи неорганических химикатов

  • Оборудование разработано для автоматизированной подачи и распределения сверхчистых химикатов в полупроводниковой промышленности, таких как H2SO4, HF, HCl, NH4OH, H2O2,, HNO3 и др.
  • Электрооснастка, программное обеспечение, пневматические вентили, краны подачи, разъемы и точки подключения (все из химически стойких материалов) позволяют обеспечить контролируемое распределение химикатов до 8 мест потребления.
  • Шкафы полностью из пластика по стандарту FM 4910, с регулируемыми ножками и позволяют загрузку одной или двух бочек по 200 литров по встроенной роликовой дорожке.

далее


STROZA – Шкаф подачи органических химикатов

  • Предназначена для автоматизированного удаленного дистанционного снабжения огнеопасными и взрывоопасными химикатами в полупроводниковой промышленности.
  • Исполнение из нержавеющей стали с системой управляемой «промывки» электрической части инертным газом.
  • Автоматическое переключение насоса из первой бочки 200 литров на вторую после исчерпания первой.
  • Система управления с тачскрином и возможностью отправления GSM сообщений о текущем рабочем режиме.

далее


STROZA – Химический шкаф для мойки канистр и тары

  • Шкаф предназначен для высококачественной мойки переносных канистр, ящиков, контейнеров и других предметов от химического загрязнения с помощью опрыскивателей с деионизованной водой, с внешней и внутренней стороны.
  • Шкаф предназначен для применения в полупроводниковой промышленности.
  • Корпус шкафа изготовлен из белого полипропилена.
  • Электрический щит с кнопками управления – главным выключателем, кнопками СБРОС, СТАРТ/СТОП и таймер

далее


STROZA – Шкаф хранения перчаток для чистых помещений

  • Шкаф предназначен для хранения и выдачи перчаток в чистых помещениях, особенно в полупроводниковой промышленности. Перчатки хранятся в пяти самостоятельных перегородках с крышкой (каждая для одного размера).
  • Шкаф из нержавеющей стали. Габариты 1000 x 340 мм, высота 303 мм.

далее


STROZA – Шкаф распределения подачи химикатов

  • Шкаф VMB (Valve Manifold Box) для распределения особо чистых химикатов в сети снабжения отдельных рабочих мест потребления, например, оборудования для обработки полупроводниковых материалов (кремниевые пластины, кристаллы, слитки).
  • Шкаф содержит 8 веток с тефлоновыми вентилями и отдельную зону для управляющих электропневматических элементов.
  • Шкаф полностью пластмассовый, габариты 1000 x 170 мм, высота 460 мм.

далее


STROZA – Установка для травления полупроводниковых пластин

  • Оборудование предназначено для травления полупроводниковых пластин (с максимальным диаметром 4“) посредством смеси азотной, плавиковой и уксусной кислот.
  • Пластины после процесса травления обмываются в тройном противоточном каскаде с деионизованной водой и обсушиваются посредством воздушной обдувки при помощи плоских форсунок.
  • Ванна для травления наливается смесью азотной, плавиковой и уксусной кислот в регулируемом соотношении. Она изготавливается из материала PVDF. Ванну возможно закрыть посредством автоматической крышки.
  • Оборудование оснащено манипулятором, позволяющим полуавтоматический рабочий режим. Он находится в пространстве для травления, которое от пространства обслуживания отделяют прозрачные щиты и раздвижная дверь.

далее


STROZA – Химический шкаф для работы с кислотами

  • Оборудование в качестве лабораторного бокса предназначено для работы с агрессивными реагентами.
  • Основной частью оборудования является рабочее пространство с химически устойчивой полипропиленовой рабочей поверхностью и освещением.
  • В рабочей поверхности находятся три раковины, которые подключены к самостоятельным химическим стокам.
  • С задней стороны размещены выходы для отдельно подключенных энергоносителей, деминерализованной воды, напорного воздуха, вакуума и азота.

далее


STROZA – Установка для подготовки и распределения NH4OH + DIW

  • Оборудование предназначено для автоматически регулируемого разжижения аммиака и деионизованной воды. Результатом является аммиачный раствор с проводимостью в указанных пределах.
  • Раствор, образованный таким способом, хранится в оборудовании в баке, емкостью 200 литров и поставляется в циркуляционный контур, из которого разбавленный химикат отбирают технологические агрегаты.
  • В циркуляционном контуре постоянно проверяется давление, расход и проводимость. Для автоматической регуляции применяется операторское программное обеспечение с контактным дисплеем и PLC.
  • PLC мониторит и управляет всей системой смешивания химиката.

далее


STROZA – Установка смешения и распределения химиката TMAH

  • Исходная смесь TMAH 2,38% образована смешиванием гидроксида тетраметиламмония (TMAH 25%) и деионизованной воды (DI вода).
  • Резервуар входного раствора TMAH 25% – 200 литров
  • Система состоит из внутренней смесительной петли и системы распределения
  • Материал корпуса: ПВХ

далее


STROZA – Установка травления кремниевых пластин (нержавеющая сталь)

  • Ванна для отмывки из нержавеющей и хим. стойкой стали
  • Три ванны для травления из нержавеющей и химически стойкой стали. Аварийная ванна из нержавеющей стали
  • Электрический автоматический подогрев 3 кВт
  • Автоматическая заправка и дозирование растворов, контроль уровня жидкости, рабочей температуры, слива

далее


STROZA – Химический шкаф для травления пластин

  • Первая ванна отмывки со скоростным сливом
  • Вторая ванна отмывки с измерением проводимости
  • Автоматический манипулятор
  • Травление в 6″ магазинах, обогрев в кварцевой ванне, слив с разбавлением водой

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.