STROZA – Установка травления кремниевых труб

  • Оборудование предназначено для мойки и чистки Si труб и других деталей в полупроводниковой промышленности.
  • Обеспечивает травление труб диаметром до 300 мм и длиной с 1450 по 2765 мм.
  • Манипулятор установит трубку на вращающиеся цилиндры, в последующем система в зависимости от выбранной рецептуры наполнит ванну химической смесью или инжектирует смесь вовнутрь трубы.
  • После завершения очистки труба промывается в текущей деионизованной воде и в последующем просушивается горячим азотом.
  • В течение травления, мойки и сушки труба постоянно вращается.
  • Составной частью оборудования являются два резервуара на две разные смеси для травления, которые автоматически готовятся из деионизованной воды, HNO3 и HF по выбранной рецептуре. Все три составных части смеси подаются в оборудование из центральной распределительной сети.
  • Отдельные рецептуры имеют широкие возможности подбора. Кроме производственных процедур можно подбирать и процедуры комплексной уборки, ухода, сервиса.
  • PLC с графическим тачскрином обеспечивает все функции управления, регулировки и безопасности при эксплуатации линии, управляет всеми пневматическими и гидравлическими компонентами, наполнением и сливом процессуальных ванн и резервуаров, перекрыванием защитных кожухов, сигнализирует рабочее или аварийное состояние линии.
  • Оборудование выполнено полностью из пластмассы
  • Габариты 4050 x 1391 мм, высота 2480 мм. Масса 1600кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.