STROZA – Установка отмывки кремниевых пластин после полировки

  • Оборудование предназначено для автоматической мойки и сушки кремниевых пластин диаметром до 8″ после операции шлифования и полирования.
  • Оператор вставляет пластины в кассете в рабочую корзину в загрузочную позицию – входную двухпозиционную ванну с водой.
  • Двухосный манипулятор перегружает корзину по выбранной рецептуре (программе) между двумя ваннами очистки, двумя ваннами промывки и одной «ванной» для сушки.
  • После завершения процесса очистки пластин, корзина переносится в выгрузочный ящик, из которого вынимается оператором.
  • Исполнение из нержавеющей стали, конструкция на регулируемых установочных ножках
  • Ванны   из   нерж.   стали,   оптодатчики   для   контроля   присутствия корзины, пузырьковые датчики для контроля уровня жидкости
  • Ультразвуковой   генератор   40   кГц/1500   Вт   для   повышения моющего эффекта жидкости
  • манипулятор, обеспечивающий перегрузку кассеты с пластинами между отдельными позициями на основе выбранной рецептуры
  • управляемый   нагрев   и   наполнение   ванн   деми-водой   из   двух бойлеров 18 кВт и 22 кВт, обогрев воды до температуры 85°С
  • пропагатор,   обеспечивающий   посредством   общей   качающейся рамы   передвижения   кассет   в   ваннах   для   усиления   действия процесса очистки
  • настраиваемая   щелевая   вытяжка   от   каждой   ванны,   душ   для ухода и сервиса, ванна аварийного захвата, освещение рабочей зоны, передние защитные задвижные прозрачные дверцы
  • Габариты 4010 x 1610 мм, высота 2900 мм. Масса 1450кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.