STROZA – Установка отмывки кремниевых пластин

  • Оборудование предназначено для работы в полупроводниковой промышленности.
  • Линия изготовлена полностью из нержавеющей стали и служит для постепенной очистки Si пластин диаметром 8″ в семи кассетах одновременно.
  • Пластины в стандартных пластмассовых кассетах, вручную вставленные в загрузочную позицию, проходят постепенно через пять ультразвуковых процессных и отмывочных ванн в «ванну» осушки и далее в позицию выгрузки.
  • Процессные ванны заполняются проточной деионизованной водой, нагретой до 85°C из водонагревателя, подключенного на подачу деионизованной воды из сети заказчика, и требуемые химические растворы.
  • Манипуляция между ваннами полностью автоматическая и все процессы проходят по выбранной запрограммированной рецептуре.
  • Управление сервоманипулятора и всего процесса обеспечивает PLC с графическим тачскрином.
  • Во всех ваннах происходят непрерывные вертикальные колебания кассет с амплитудой 30 мм для улучшения эффекта очистки. Отдельные процессные ванны оснащены щелевой вытяжкой. В «ванне» осушки происходит интенсивное циркуляционное осушение горячим воздухом с температурой до 80°C и с фильтрацией HEPA фильтром.
  • Габариты 4050 x 1391 мм, высота 2480 мм. Масса 1600кг
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.